实验手册
lab5-galvo-field
实验 5 · 振镜场校正
- 目标
- 标出振镜的场内畸变并补掉,把残差压到 15 µm RMS 以内。
- 预计用时
- 60分钟
- 难度
- 进阶
- 前置
- 完成实验 1 与实验 2。
目标
在 200 × 200 mm 幅面上标出振镜场畸变,生成校正表,并验证校正后的残差。
步骤
标定 → 振镜场校正,网格选 9×9,幅面 200 mm。- 跑完,看残差热力图:畸变应该是中心小、边角大(枕形/桶形)。
- 记录校正前后的残差 RMS 与 max。
- 把网格改成 5×5,重跑。比较边角残差 —— 网格密度不够时,插值填不平边角。
- 把网格改成 15×15,重跑。看残差还能不能继续降,代价是采集时间翻几倍。
- 用校正表打一个 180 mm 的正方形,量对角线长度差。
判据
| 项 | 判据 |
|---|---|
| 校正前残差 RMS | 通常 80–150 µm |
| 9×9 校正后残差 RMS | < 15 µm |
| 5×5 校正后边角 max 残差 | 明显大于 9×9 |
| 15×15 相对 9×9 的改善 | 有限(收益递减) |
| 正方形对角线差 | < 0.1 mm |
常见错误
- 网格只覆盖中心区域:边角完全没标到,插值变外推,误差爆炸。
- 只看 RMS 不看 max:RMS 好看但某个角落超差 3 倍,产线上就是那个角落出问题。
- 校正表和像素当量不匹配:场校正依赖 C1,C1 重标了就要重标场校正。
- 忽略跳转延时与标记延时:这两个参数不对,画出来的线会有拖尾,和场畸变混在一起难分辨。
思考题
- 场畸变的主要来源是什么?(提示:f-θ 镜头的设计残差、两片镜片不在同一平面)
- 网格从 9×9 加到 15×15,采集点数涨 2.8 倍,残差只降一点。用什么指标判断该停在哪?
- 如果幅面从 200 mm 扩到 400 mm,残差会怎么变?为什么大幅面振镜更难做?
- 校正表用双线性插值和用二维多项式拟合,各有什么优缺点?哪个对采集噪声更鲁棒?