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PreciSim
实验手册
lab5-galvo-field

实验 5 · 振镜场校正

目标
标出振镜的场内畸变并补掉,把残差压到 15 µm RMS 以内。
预计用时
60分钟
难度
进阶
前置
完成实验 1 与实验 2。

目标

在 200 × 200 mm 幅面上标出振镜场畸变,生成校正表,并验证校正后的残差。

步骤

  1. 标定 → 振镜场校正,网格选 9×9,幅面 200 mm。
  2. 跑完,看残差热力图:畸变应该是中心小、边角大(枕形/桶形)。
  3. 记录校正前后的残差 RMS 与 max。
  4. 把网格改成 5×5,重跑。比较边角残差 —— 网格密度不够时,插值填不平边角
  5. 把网格改成 15×15,重跑。看残差还能不能继续降,代价是采集时间翻几倍。
  6. 用校正表打一个 180 mm 的正方形,量对角线长度差。

判据

判据
校正前残差 RMS 通常 80–150 µm
9×9 校正后残差 RMS < 15 µm
5×5 校正后边角 max 残差 明显大于 9×9
15×15 相对 9×9 的改善 有限(收益递减)
正方形对角线差 < 0.1 mm

常见错误

  • 网格只覆盖中心区域:边角完全没标到,插值变外推,误差爆炸。
  • 只看 RMS 不看 max:RMS 好看但某个角落超差 3 倍,产线上就是那个角落出问题。
  • 校正表和像素当量不匹配:场校正依赖 C1,C1 重标了就要重标场校正。
  • 忽略跳转延时与标记延时:这两个参数不对,画出来的线会有拖尾,和场畸变混在一起难分辨。

思考题

  1. 场畸变的主要来源是什么?(提示:f-θ 镜头的设计残差、两片镜片不在同一平面)
  2. 网格从 9×9 加到 15×15,采集点数涨 2.8 倍,残差只降一点。用什么指标判断该停在哪?
  3. 如果幅面从 200 mm 扩到 400 mm,残差会怎么变?为什么大幅面振镜更难做?
  4. 校正表用双线性插值和用二维多项式拟合,各有什么优缺点?哪个对采集噪声更鲁棒?